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管式炉对于石墨烯的远程催化处理!!!

返回列表 来源:未知 发布日期:2021-11-18 08:53【

    氮化铝(AlN)因具有宽禁带、高击穿电场、低能耗、耐高温、抗腐蚀及抗辐射等优点,是制备各种 发光二极管(LED)和短波长激光器件的重要材料之一 ,也是节能产业、尖端军事和空间用电子器件 的核心,因而备受关注. 该类光电器件的一个技术难点是p-AlN的掺杂非常困难,目前主要通过Mg掺 杂和激活实现,这导致AlN层的电阻率偏大,妨碍了载流子有效注入到整个源区,活性区域仅限于 电极附近,而且在AlN上制作欧姆接触电极也较为困难.OTF-1200X 型真空气氛滑轨管式炉(合肥科晶材料技术有限公司);BX53 型光学显微镜(日本 Olympus公司);S-4800型扫描电子显微镜(SEM,日本Hitachi公司);LabRAM HR800型激光共聚焦拉 曼光谱仪(Raman,法国HORIBA Jobin Yvon 公司);ESCALAB 250型X 射线光电子能谱仪(XPS,美国 Thermo Fisher Scientific公司);UH4150型紫外-可见-近红外分光光度计(日本Hitachi公司);2700型六 位半数据采集器(美国Keithley公司).

合肥科晶 OTF-1200X 1200℃开启式管式炉


   温度是石墨烯制备工艺的关键参数,为了研究生长温度的影响,分别在1030,1050和1070 ℃下进 行生长石墨烯的实验.通过理论与实验相结合的方法,在实验上通过Ga远程催化,采用CVD法在AlN衬底上直接生长石 墨烯薄膜,并表征了石墨烯的形貌和结构,研究了生长温度和远程催化距离对石墨烯生长及其光学性 质和电学性质的影响.