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管式炉对于光电性能分析的作用

返回列表 来源:未知 发布日期:2020-09-24 08:44【

1 实验方法


将20 mm×20mm×2mm 的玻璃(洛阳古洛 玻璃有限公司)衬底先后浸没于去离子水、洗涤剂、 无水乙醇等 溶 液 中 并 置 于 超 声 清 洗 机 内 分 别 清 洗 20min,以去除衬底表面污渍,再用 N2 吹干;之后以 金属Sn粒(国药集团化学试剂有限公司,5N)为蒸 发源,利用电子束蒸发镀膜仪(中科院沈阳科学仪器 股份有 限 公 司,DZS-500)在 玻 璃 基 底 上 沉 积 预 制 层,镀膜工艺参 数 分 别 为:本 底 真 空6.0×10-4 Pa, 沉积速率0.1nm/s,衬 底 温 度80℃,膜 厚550nm; 最后将1mgSe粉(Sigma-Aldrich,4N)和 Sn预制 层先后放入小石英管内,塞上自制管塞后放入单温 区 管 式 炉 内 (合肥科晶,OTF-1200X),在 常 压、 60cm3/min的 N2 气流中分别在350,400和450℃ 下硒化退火30min,并在450℃条件下延长退火时 间至60min。


2 结果与分析


薄膜微观形貌由较光滑 的微球逐渐变为片状堆积的鸡米花状微球,结合薄 膜成分的表征结果可知,在350℃较低的硒化温度 下,硒 化 不 充 分,由 于 此 时 已 超 过 Sn 的 熔 点 (231℃),在表面 张 力 作 用 下,液 态 Sn在 衬 底 表 面 会聚成微球;当硒化温度升高到400℃时,由于硒化 物开始生成,微球表面开始变得粗糙;当硒化温度继 续升高到450℃时,有大量片层状SnSe生成,但是由于有杂项 SnSe2 和 Sn存在,特别是金属 Sn的存 在,使得片层之间发生粘连而呈鸡米花状;延长退火 时间至60min后,粘 连 现 象 弱 化,可以清楚看到片 状团簇结构,原因是此时预制层已被充分均匀地硒 化为SnSe,SnSe具有层状结构,在多晶状态下呈 现片状。






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